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電鍍加工中改善均勻性的方法

文字:[大][中][小] 手機(jī)頁(yè)面二維碼 2022/11/23     瀏覽次數(shù):    

電鍍加工廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片,用于電鍍或點(diǎn)狀結(jié)構(gòu),大部分的電鍍方法都是垂直電鍍,以銅為例,利用現(xiàn)有的電鍍槽,如果控制不好,電路板電鍍銅后容易出現(xiàn)“狗骨頭效應(yīng)”,即周?chē)你~很厚,而中間區(qū)域很薄,整個(gè)電路板的均勻性差,分布趨勢(shì)大。

蕪湖電鍍

蕪湖電鍍

  提供一種提高電鍍加工勻性的方法,電鍍后均勻性良好,鍍液采用雙槽,鍍液溫度范圍控制在20~24攝氏度,鍍液中含有五水硫酸銅,硫酸銅濃度控制在175~225g/l。
  硫酸在150~200g/l的電鍍過(guò)程中基板均為垂直設(shè)置,當(dāng)基板浸入母槽電鍍時(shí),基板距陽(yáng)極兩側(cè)的距離相等或接近相等,總體方案是通過(guò)各種措施對(duì)電鍍采用二次電流分布均勻性控制,涉及多面、鍍液、基板和陽(yáng)極距離、鍍液,并通過(guò)上下兩次電鍍的改造。
  電鍍主體為屏蔽電極線(xiàn)副母槽,副槽陰極(需電鍍板)與陽(yáng)極電極線(xiàn)的面積為1:1,鍍液溫度范圍控制在20°C,如果大家想要了解更多相關(guān)內(nèi)容,建議關(guān)注本網(wǎng)站。
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